MiniLED新賽道崛起，NAURA迎風(fēng)啟航
?MiniLED、MicroLED在近期成為了市場熱詞，諸多上市公司的年報(bào)中將2020年視為“Mini/MicroLED元年”。未來，4K、8K電視的市場擴(kuò)張也將進(jìn)一步帶動LED顯示技術(shù)的需求。作為新一代高清晰度終端顯示技術(shù)，MiniLED芯片應(yīng)用已成為行業(yè)熱點(diǎn)，圍繞它的一系列技術(shù)瓶頸也急需實(shí)現(xiàn)突破，從而帶動LED芯片產(chǎn)業(yè)的新一輪高速增長。??作為一種新型的LED顯示方案，MiniLED在技術(shù)方面日趨成熟。基于更小的芯粒尺寸（~100μm）制作需求，MiniLED芯片在工藝方面需要更好的一致性、更高的顆?？刂颇芰透鼉?yōu)的膜層質(zhì)量。與傳統(tǒng)LED芯片在制程方面存在的差異，是機(jī)遇也是挑戰(zhàn)，而更先進(jìn)的技術(shù)最終要落腳于更先進(jìn)的設(shè)備。??北方華創(chuàng)近年來始終著力于開發(fā)更優(yōu)性能、更大產(chǎn)能、更智能化的MiniLED設(shè)備?；贛iniLED芯片制作對設(shè)備性能的需求，NAURA積極布局相關(guān)設(shè)備研發(fā)，涵蓋藍(lán)綠光與紅黃光芯片工藝，主要產(chǎn)品包括ICP刻蝕機(jī)、PECVD、PVD（AIN sputter、Metal sputter、ITO sputter）、ALD等一系列設(shè)備。ELEDE? G380A
??NAURA LED ICP刻蝕設(shè)備（ELEDE? G380A）在傳統(tǒng)ICP刻蝕設(shè)備的基礎(chǔ)上，對上、下電極系統(tǒng)及設(shè)備加熱控溫系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了刻蝕均勻性的有效提升，完全滿足MiniLED芯片的均勻性及邊緣利用率要求。此設(shè)備適用于MiniLED多種材料刻蝕，覆蓋藍(lán)綠、紅黃芯片全流程，包括深槽隔離刻蝕（Isolation）、電極刻蝕（Mesa）、介質(zhì)反射層刻蝕（DBR）及紅黃光刻蝕（AlGaInP），具有精準(zhǔn)的線寬控制和高速刻蝕能力，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)并具備優(yōu)異的刻蝕均勻性。設(shè)備配置了Cassette in Cassette out自動生產(chǎn)模式，可達(dá)到更好的顆?？刂颇芰?。EPEE i800
??NAURA LED PECVD設(shè)備（EPEE i800）采用托盤載片和多站動態(tài)作業(yè)模式，為MiniLED芯片制造提供了優(yōu)良的PECVD工藝解決方案。NAURA通過對鍍膜方式進(jìn)行改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了更優(yōu)的片內(nèi)和片間鍍膜均勻性；通過對反應(yīng)腔上、下電極系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了更大的單機(jī)產(chǎn)能輸出。EPEE i800設(shè)備的鍍膜均勻性、顆?？刂颇芰σ约白詣踊潭让黠@提升，可實(shí)現(xiàn)工廠端自動化生產(chǎn)，完全滿足MiniLED對芯片制造的要求。??ELEDE? G380A與EPEE i800等設(shè)備不僅能滿足新一代MiniLED制程，還可應(yīng)用于未來MicroLED制程的研發(fā)，其跨世代的工藝能力是客戶技術(shù)發(fā)展及創(chuàng)新的一大助力。??NAURA還可提供對接廠務(wù)MES系統(tǒng)或者其他廠務(wù)自動化軟件的解決方案；全流程自動化解決方案可幫助客戶實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的無人化、信息化和智能化管理。??隨著LED顯示技術(shù)和產(chǎn)品的不斷創(chuàng)新，新技術(shù)的每一次超越與落地，對于行業(yè)發(fā)展來說都具有重大意義，NAURA愿與業(yè)界同仁一起在半導(dǎo)體顯示技術(shù)領(lǐng)域銳意進(jìn)取、開拓創(chuàng)新，共譜新篇章。
