其基本原理是：依靠熔體的表面張力，使熔區懸浮于多晶硅棒與下方生長出的單晶之間，通過熔區向上移動而進行提純和生長單晶。
現代區熔爐的特點：
(1)高大的不銹鋼爐室，爐子總高度達到7～8m以上。
(2)上下軸行程長達1.5～2m，可生產長單晶。
(3)特殊設計的單匝高頻線圈，甚至有活動可分離式線圈。
(4)高頻發生器功率達60kw以上，振蕩頻率為2～2.5MHz。
(5)自動化程度高，采用計算機進行數據采集和處理。
(6)具有晶體夾持機構。
(7)電極筒為移動式的。
(8)具有高純氬循環使用系統和冷卻水循環系統。
