??在2020年SEMICON CHINA展覽會上，北方華創正式發布了NMC612G 12英寸金屬刻蝕機。該設備具有優秀的刻蝕均勻性調節能力與良好的顆粒管控能力，可滿足集成電路、功率半導體、硅基微顯示等領域的金屬刻蝕需求。
??NMC612G 12英寸金屬刻蝕機是電感耦合高密度等離子體干法刻蝕機，具有多種均勻性控制手段，如電流分布控制技術、氣體比例控制技術、靜電卡盤溫控技術等，為客戶提供了多種均勻性調節選擇，拓寬了工藝空間。其中，靜電卡盤及傳輸系統不但適用于常規硅片的傳輸，也適用于不同領域的玻璃片、SOG片等晶圓的傳輸及吸附，可多元化滿足各領域多種需求。此外，針對刻蝕后殘留氣體導致的金屬腐蝕問題，該設備采用微波去膠技術，利用O2產生等離子體，可以較高的速率實現不同金屬刻蝕后PR掩膜的去除，并保證金屬長期存放過程中不被腐蝕。
??目前NMC612G金屬刻蝕機已經成功進入集成電路、功率半導體、硅基微顯示等領域的多家生產線，其良好的工藝性能和更低的擁有成本，正在助力客戶大規模量產。未來，北方華創也將繼續聚焦行業前沿，緊跟市場需求，“以客戶需求為導向”，持續推進新設備進入多方領域市場，引領刻蝕工藝發展。
